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CVD涂层技术的进展


刀具表面的硬质薄膜对材料有如下要求:①硬度高、耐磨性能好;②化学性能稳定,不与工件材料发生化学反应;⑧耐热耐氧化,摩擦系数低,与基体附着牢固等。单一涂层材料很难全部达到上述技术要求。涂层材料的发展,已由最初的单一TiN涂层、TiC涂层,经历了 TiC-Al2O3-TiN复合涂层和TiCN、TiAlN等多元复合涂层的发展阶段,现在最新发展了TiN/NbN、TiN/CN,等多元复合薄膜材料,使刀具涂层的性能有了很大提高。硬质涂层材料中,工艺最成熟、应用最广泛的是TiN。目前,工业发达国家TiN涂层高速钢刀具的使用率已占高速钢刀具的50%-70%,有的不可重磨的复杂刀具的使用率已超过90%。由于现代金属切削对刀具有很高的技术要求,TiN涂层日益不能适应。TiN涂层的耐氧化性较差,使用温度达500℃时,膜层明显氧化而被烧蚀,而且它的硬度也满足不了需要。
TiC有较高的显微硬度,因而该材料的耐磨性能较好。同时它与基体的附着牢固,在制备多层耐磨涂层时,常将TiC作为与基体接触的底层膜,在涂层刀具中它是十分常用的涂层材料。
TiCN和TiAlN的开发,又使涂层刀具的性能上了一个台阶。TiCN可降低涂层的内应力,提高涂层的韧性,增加涂层的厚度,阻止裂纹的扩散,减少刀具崩刃。将TiCN设置为涂层刀具的主耐磨层,可显著提高刀具的寿命。TiAlN化学稳定性好,抗氧化磨损,加工高合金钢、不锈钢、钦合金、镍合金时,比TiN涂层刀具提高寿命3—4倍。在TiAlN涂层中如果有较高的Al浓度,在切削时涂层表面会生成一层很薄的非品态Al2O3,形成一层硬质惰性保护膜,该涂层刀具可更有效地用于高速切削加工。掺氧的氮碳化钛TiCNO具有很高的显微硬度和化学稳定性,可以产生相当于TiC+Al2O3复合涂层的作用。一些过渡金属氮化物、碳化物、硼化物以及它们的多元复合化合物,有的具有相当高的硬度,这些材料都可以开发出来应用于涂层刀具,将会使涂层刀具的性能有新的突破。
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